Vakum Kaplama Makinesi'nin Tasarım Özellikleri Çok Rotarlı Disk Karşılaştırma Ekipmanları

1) The formulation of cylindrical shape, large diameter, and thin-walled structure of fixed cylinder 3 and the determination method of axial symmetry can ensure that it has sufficient strength and bending stiffness, and at the same time, it can also prevent high-temperature magnetron sputtering The wear-resistant material pollutes the environment of its internal structural parts, ensuring the operational flexibility of the rotation of the rotating disc 15 .
2) halka halindeki oturmuş yatağın tasarım şeması 2, oturmuş yatak kurulumunun sızdırmazlık performansını ve dikey açısını sağlar; Şaft 1'in çap spesifikasyonunu genişletir, oturmuş yatak 2'deki iki yuvarlanma yatağı arasındaki montaj aralığını arttırır ve şaftın 1'in bükülme sertliğini, dönen disk 15'in dönme işleminin esnekliğini ve tekrarlanan parçaların tutarlılığını sağlamak için kendi mukavemetini ve bükülme sertliğini artırır.
3) Değiştirilebilir doku taşıması, genişletilmiş destek plakasının 16 çapına göre, düzlem görünüm açısındaki dokunun makul toplam alanı genişlemiştir ve büyük bir çaplı (φ26.5mm) karşılaştırmalı bir parça takılabilir, bu da döngü ayarı için faydalıdır ve optik filmin kalitesini iyileştirir; Göreceli sayfa 12, karşılaştırmalı bir sayfa modülü olarak tabaka tipi lamine camdan yapılmıştır ve karşılaştırmalı sayfa, iç mekandaki üç boyutlu birikimli kurulum yöntemini benimser. Film, çift katmanlı yüksek hassasiyetli optik filmin kaplama ekipmanı tarafından kaplandığı ve film sayısının nispeten küçük olduğu ve üst üste bindirilmiş katmanların sayısını ve yüzeydeki kaplamanın hassasiyetini etkilediği sorununu çözen filmle karşılaştırılıyor.
4) Konumlandırma plakası 6 ve yuva tipi optik kuplör 17 ile işbirliği yapın, yuva tipi optik kuplöre göre konumlandırma plakası üzerindeki üç ortalama 120 ° çift yarıkları tanıyın ve motorun durmasını kontrol edin. Şaft 1'in dönüşünün kesin konumlandırılmasının kıvamı tekrar tekrar sağlanır ve dönen disk 15, doğru bir çekme duruşu gerçekleştirmeye itilir.
5) Döner sızdırmazlık besleme mekanizması, sadece dişli örgüsüne göre şaft 1'i sürmek için motorun 9 hassas dönüşünü sağlamakla kalmayıp, aynı zamanda vakum odasının dış dünyaya sızdırmazlık etkisini sağlayan Wilson sızdırmazlık mekanizmasını 5'i tanıtmaktadır. Çok rotarlı disklere sahip optimize edilmiş vakum kaplama makinesi nispeten ince bir film ekipmanıdır. Özellikleri şunlardır: (1) basit yapı, yüksek basınç mukavemeti ve iyi stabilite; Optik film; (3) Film çapının genişlemesi ile karşılaştırıldığında, plastik film denetiminin hassasiyeti iyileştirilir, donanım sistemi için gereksinimler azalır ve sistem yazılımının otomatik kontrol sistemini tamamlaması çok kolaydır; (4) Bakım maliyeti düşüktür.
Optimizasyonuna görevakum kaplama makinesiÇok rotarlı bıçak karşılaştırma cihazı, nispi bıçak yapısının dönüşünün koordinasyonunu ve tekrar tekrar kıvamını sağlar ve nispi alanın küçük olduğu, döngü ayarının rahatsız edici olduğu ve optik sinyal frekansı kararlı olduğu sorununu çözer. Kötü enlem problemini çözer ve orijinal vakum kaplama makinesi tarafından kaplanan optik filmlerin kalitesini daha da artırabilen daha az toplam sayfa sayısını çözer ve 30'dan fazla optik film kaplanabilir. Pratik deneyim, bu karşılaştırmalı sayfa yapısının etkili olduğunu ve bugün elektronik optik vakum kaplama makineleri alanında iyi pazarlanabileceğini ve uygulanabileceğini kanıtlamıştır.