Vakum kaplama işleminin nasıl gerçekleştirildiğini anlayın

Vakum kaplamayüksek kaliteli ince film malzemeleri üretmek için kullanılan bir işlemdir. Vakum koşulları altında bir substratın yüzeyine organik veya inorganik malzemeleri termal olarak buharlaştırarak veya püskürterek ince filmler üretir. Bu makale, vakum kaplamanın uygulanmasını ayrıntılı olarak tanıtacaktır.

Vakum kaplama işlemi aşağıdaki adımları içerir:

1. Doğru substrat ve malzemeyi seçin

Doğru substrat ve malzemeyi seçmek, vakum kaplamanın ilk adımıdır. Substrat cam, plastik, metal veya diğer nanomalzemeler olabilir. Malzemeler, metaller, yarı iletkenler, oksitler veya nitrürler gibi organik veya inorganik olabilir.

2. Vakum kaplama sistemini yükleyin

İkinci adım, substrat ve malzemeleri vakum kaplama sistemine yüklemektir. Vakum kaplama sistemi bir vakum odası, bir metal buharlaştırıcı, bir püskürtme ve bir kontrol sistemi içerir. Vakum odası, bir vakum ortamını korumak için kullanılan kapalı bir alandır, metal buharlaştırıcılar ve sputçılar, malzemeleri substratlara buharlaştırmak veya püskürtmek için kullanılan cihazlardır ve kontrol sistemi, vakum ortamını ve malzeme buharlaşmasını veya püskürtme hızını izlemek ve ayarlamak için kullanılır.

3. Vakum

Malzeme ve substrat yüklendikten sonra vakum odası tahliye edilmelidir. Vakumlama çok önemli bir adımdır, çünkü düşük basınç ve yüksek saflıklı bir ortamın korunması membranın kalitesini garanti edebilir. Vakum ortamı, gaz moleküllerini ve diğer kirleticileri dışlamak için genellikle 10^-6 mbar'ın altındadır.

4. Maddi buharlaşma veya püskürtme

Vakum ortamı istenen basınca ulaştığında, malzeme buharlaştırılabilir veya substrat üzerine püskürtülebilir. İki malzeme buharlaşma yöntemi vardır: termal buharlaşma ve elektron ışını buharlaşma. Püskürtmenin de iki yöntemi vardır: Magnetron Püskürtme ve Yay Püskürtme. Hangi yöntem kullanılırsa kullanılırsa, malzeme buharlaşması veya püskürtme hızı ve film kalınlığı kontrol edilmelidir.

5. Çok katmanlı film yapın

Tek katmanlı bir membran üretildikten sonra, bir kompozit oluşturmak için birden fazla katman birlikte istiflenebilir. Alternatif biriktirme, çoklu silahlı malzeme birlikte yinelenmesi ve bölgesel biriktirme gibi farklı malzemeler ve biriktirme işlemleri kullanılabilir.

6. Test membran kalitesi

Son adım, membranın kalitesini test etmektir. Testler, diğerlerinin yanı sıra kalınlık, fiziksel özellikler, optik özellikler ve elektriksel özellikleri içerebilir. Membran malzemesinin test sonuçlarına göre gereksinimleri karşılayıp karşılamadığını belirleyin.

Kısacası, vakum kaplama teknolojisi yüksek kaliteli ince filmler elde etmek için bir yöntemdir. Uygun substrat ve malzemeyi seçmeli, vakum kaplama sistemini yüklemeli, vakumlaştırmalı, malzeme buharlaşması veya püskürtülmesi, çok katmanlı film yapması ve film kalitesini test etmesi gerekir. Vakum kaplama teknolojisi elektronik, optik, tıbbi ve enerji alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.