Vakum kaplama ekipmanının basınç kontrol prensibi

1. Arka Plan Giriş
Vakum kaplama ekipmanı, endüstriyel üretimde yaygın olarak kullanılan bir tür ekipmandır. Ana işlevi, vakum kaplama odasına kaplanması gereken malzemeyi koymak ve yüksek sıcaklık ve yüksek vakum ortamı altında reaksiyon yoluyla, film katmanı malzemenin yüzeyine eşit olarak biriktirilir. ve özel fonksiyonlara ve özelliklere sahip belirli bir kaplama katmanı oluşturur. Bunlar arasında, ekipmandaki vakum derecesi ve yapışma hızı, kaplama katmanının kalitesini etkileyen önemli göstergelerdir ve vakum derecesinin stabilitesi ekipmandaki basınç kontrolüne bağlıdır.
2. Vakum kaplama ekipmanının basınç kontrolü prensibi
1. Vakum derecesinin tanımı
Basınç kontrolü ilkesini getirmeden önce, vakumun ne olduğunu tanıtmak gerekir. Fizikte vakum, basıncı atmosfer basıncından daha az olan bir gaz ortamını ifade eder, bu nedenle vakum derecesi belirli bir alandaki gaz basıncını ifade eder. Genel olarak, vakum genellikle Pascals (PA) veya Metre çubuğunda (MBAR) ölçülür. Vakum kaplama ekipmanlarında, olağan vakum aralığı 10^-6pa ~ 10^-2pa'dır.
2. Basınç Kontrol Prensibi
Vakum çok yüksek veya çok düşük olduğunda, ekipmanın normal çalışmasını etkileyecektir. Bu nedenle, belirli bir yöntemle ekipmandaki vakum seviyesini kontrol etmek gerekir. Bunlar arasında basınç kontrolü nispeten basit ve verimli bir kontrol yöntemidir. Spesifik olarak, basınç kontrolü ilkesi, basıncı kontrol etme amacına ulaşmak için valfin açılmasını kontrol ederek kontrollü ucun basıncını tespit ederek ekipmandaki gaz akış hızını kontrol etmek için bir basınç kontrolörü kullanmaktır.
3. Basınç kontrolörünün temel bileşimi
Vakum kaplama ekipmanlarında, basıncı kontrol etmek için genellikle bir basınç kontrolörü kullanılır. Temel bileşimi dört parça içerir: algılama sensörü, kontrolör, aktüatör ve kontrol sistemi.
Algılama Sensörü: Esas olarak kontrol edilen ucun basınç değişikliğini tespit etmek ve kontrolör tarafından kullanılmak üzere karşılık gelen bir elektrik sinyal çıkışına dönüştürmek için kullanılır.
Denetleyici: Esas olarak sensör tarafından elektrik sinyali çıkışını alır, işler ve analiz eder ve daha sonra aktüatörün açılış derecesini kontrol etmek için analiz sonucunu aktüatöre geri besler.
Aktüatör: Basıncı kontrol etme amacına ulaşmak için, esas olarak valfin açma derecesini kontrol ederek ekipmandaki akış hızını kontrol eder.
Kontrol Sistemi: Esas olarak ekipmandaki sıcaklık, vakum derecesi vb. Gibi çeşitli göstergeleri izlemek ve kontrol etmek ve bir dizi kontrol stratejisi yapmak için kullanılır.
3. Özet
Özetle, vakum kaplama ekipmanındaki basınç kontrolü prensibi, nispeten basit ve verimli bir geri bildirim mekanizması yoluyla ekipmandaki basıncı kontrol etmektir. Böyle kararlı bir kontrol sistemi oluşturmak için, ekipman kontrol sisteminin parametre izleme, kontrol algoritması, aktüatör kontrolü, sistem bağlantısı, vb. Gibi çeşitli yönlerinin teknik desteğini gerektirir.